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薄膜場效應晶體管的制造方法技術資料下載

技術編號:7139540

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本發(fā)明涉及含有薄膜晶體管(下面,略為TFT)等薄膜層疊結構的薄膜器件及其制造方法,特別是涉及初期設備投資少、可以以低成本制造的薄膜器件及其制造方法。本發(fā)明進而涉及使用了這種薄膜器件的液晶屏及電子裝置。背景技術 近年來,使用了這種薄膜器件的液晶顯示裝置用于筆記本式個人計算機、車載用的導航系統(tǒng)、攝像機、各種攜帶式信息裝置等中,其應用領域及生產(chǎn)數(shù)量正好迅速擴大。這依賴于液晶顯示裝置價格的降低,以及擴大了畫面尺寸、提高了分辨率、低耗電化等性能的改善。但是,為了進一...
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