技術(shù)編號：7138316
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種薄膜壓電體元件和其制造方法以及使用其的驅(qū)動器。背景技術(shù) 今年來，隨著半導(dǎo)體技術(shù)的進步，通過半導(dǎo)體制造技術(shù)，人們努力實現(xiàn)非常小型化的微型機器，驅(qū)動器等的機械電子元件受到了矚目。通過這樣的元件可以實現(xiàn)小型且高精度的機構(gòu)部件，并且，通過利用半導(dǎo)體處理其生產(chǎn)性大大地改善。特別是使用壓電體元件的驅(qū)動器用來實現(xiàn)掃描型隧道望遠鏡的微小變位或者盤存儲讀取裝置(以下稱為盤裝置)的探頭滑塊的微小定位等。例如，在盤裝置中，作為為了可以進行更高密度的存儲的驅(qū)動器，進...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。