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表面發(fā)光型半導(dǎo)體激光器及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7138041

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本發(fā)明涉及,特別是涉及能精密地形成微小電流狹窄結(jié)構(gòu)的。背景技術(shù) 半導(dǎo)體激光器和半導(dǎo)體發(fā)光二極管等半導(dǎo)體發(fā)光元件在以光通信領(lǐng)域?yàn)槭祝珻D(Compact Disc)或DVD(Digital Versatile Disc)等光盤系統(tǒng)或條形碼讀出器中廣泛應(yīng)用。在這種半導(dǎo)體發(fā)光元件中,“表面發(fā)光型半導(dǎo)體激光器”是通過設(shè)置在有源層上下的反射鏡來構(gòu)成共振器結(jié)構(gòu)的,光在垂直于襯底的方向上射出。該表面發(fā)光型半導(dǎo)體激光器能在襯底上二維地集成多個(gè)激光器元件,所以作為高速光LA...
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