技術編號：7132234
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型屬于半導體設備，尤其涉及一種基于藍寶石基板的半導體設備。背景技術目前，大多數(shù)的半導體材料主要是外延生長在藍寶石基板上，在外延生長過程中，容易引起藍寶石基板的翹曲，嚴重時，導致藍寶石基板的破裂，造成后續(xù)工藝的復雜，增加了工藝難度，同時，也增加了成本。實用新型內容本實用新型的目的在于提供一種基于藍寶石基板的半導體設備，旨在解決現(xiàn)有技術半導體材料在外延生長過程中，容易引起藍寶石基板的翹曲，嚴重時，導致藍寶石基板的破裂，造成后續(xù)工藝的復雜，增加了工藝難度...
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