技術(shù)編號：7122932
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及半導(dǎo)體工藝制程領(lǐng)域，尤其涉及一種爐管通氣炬。背景技術(shù)在半導(dǎo)體的制造工藝流程中，經(jīng)常需要對晶圓進行擴散、沉積、氧化以及燒結(jié)工藝，而這些工藝通常需要在加熱設(shè)備——爐管中完成。現(xiàn)有半導(dǎo)體材料在高純凈的爐管內(nèi)進行高溫反應(yīng)的過程中，通常需要向爐管通入不同類型的氣體；并且，在整個工藝過程中，爐管需要純凈、輕便、耐高溫。目前，爐管一般分為水平式和直立式兩種。如圖I所示，為一直立式爐管的結(jié)構(gòu)示意圖，包括外管101、內(nèi)管102、氣體反應(yīng)腔103、基座105、氣...
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