技術(shù)編號：7116151
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及半導體器件和器件的制作。特別是，本發(fā)明涉及晶體管器件的柵介質(zhì)層和它們的制作方法。背景技術(shù)半導體器件制造業(yè)有著驅(qū)使其需要改善速率性能，改善其低靜態(tài)(靜止態(tài))功率要求和適應對硅基微電子產(chǎn)品的各式各樣的電源要求及輸出電壓要求等方面的市場需求。尤其是在晶體管制作中，有著面臨要求減小器件例如晶體管尺寸的持續(xù)壓力。最終的目的是制作出越來越小的和更可靠的集成電路(IC)供在例如信息處理機芯片，移動電話機或存儲器例如DRAM等產(chǎn)品中使用。較小的器件經(jīng)常是由蓄電池...
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