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用于改良電化學(xué)電容電壓測(cè)量準(zhǔn)確度及可重復(fù)性的監(jiān)控裝置及方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7114383

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本發(fā)明涉及一種用于改良電化學(xué)電容電壓(ECV)造形測(cè)量準(zhǔn)確度的裝置與方法,其方式是警示操作者蝕刻過(guò)程中存在表面薄膜或氣泡,并在測(cè)量循環(huán)結(jié)束時(shí)測(cè)定該實(shí)際測(cè)量區(qū)域且使用新值重新計(jì)算該載流子濃度數(shù)據(jù)。通過(guò)使區(qū)域測(cè)量與ECV工具構(gòu)成整體,可針對(duì)該實(shí)際測(cè)量區(qū)域修正每個(gè)樣品的測(cè)量值,從而改良準(zhǔn)確度并消除一大的錯(cuò)誤源。通過(guò)使用整體測(cè)量系統(tǒng)在測(cè)量中監(jiān)控該樣品表面的表面薄膜及氣泡可進(jìn)一步減少錯(cuò)誤。背景技術(shù) 半導(dǎo)體器件系通過(guò)層疊布置不同電氣及/或光學(xué)性質(zhì)的材料層而制成。該些夾...
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