技術(shù)編號(hào):7114364
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及集成電路制造和電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化領(lǐng)域,具體涉及一種互連線方塊電阻提取的方法和裝置。背景技術(shù)在集成電路antegrated Circuit,IC)制造過程中,金屬、電介質(zhì)和其他材料被采用如物理氣相沉積、化學(xué)氣相沉積在內(nèi)的各種方法制作在硅片的表面,以形成分層的金屬結(jié)構(gòu),每一層金屬之間又用多個(gè)金屬填充的通孔相連,使得電路具有很高的復(fù)雜性和電路密度。集成電路性能的一個(gè)重要指標(biāo)是路徑延時(shí),即從一個(gè)輸入到一個(gè)輸出所需要的時(shí)間, 集成電路的路徑延時(shí)包括器件延時(shí)以及...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。