技術(shù)編號：7110714
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種具有以氧化銦為主成分、且含有含正3價的金屬氧化物的結(jié)晶質(zhì)氧化銦的半導(dǎo)體膜的薄膜晶體管。背景技術(shù)近年，顯示裝置的發(fā)展備受矚目，液晶顯示裝置、EL顯示裝置等各種顯示裝置被積極地應(yīng)用于個人電腦、文字處理機等OA機器中。這些顯示裝置都具有利用透明導(dǎo)電膜夾持顯示元件的夾層結(jié)構(gòu)。·用于驅(qū)動上述顯示裝置的開關(guān)元件中，目前硅系的半導(dǎo)體膜占主流地位。這是因為，硅系薄膜的穩(wěn)定性、加工性優(yōu)異，而且開關(guān)速度快等良好的性質(zhì)。該硅系薄膜一般通過化學(xué)蒸氣析出法(CVD法)...
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