技術(shù)編號：7107402
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種可提高TFT背板良率的布線結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)金屬鋁，由于其優(yōu)良的電學(xué)性能，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造工藝的金屬布線中。目前，金屬鋁及其合金被廣泛應(yīng)用于液晶和有機(jī)發(fā)光顯示背板中作為金屬走線。其陽極氧化處理后能形成性能優(yōu)良的氧化物絕緣層薄膜Al2O3，作為背板陣列的電容絕緣層、TFT的柵絕緣層以及不同導(dǎo)線層之間的絕緣層。 一般在進(jìn)行鋁陽極氧化處理的時候，是將圖形化后的金屬放入電解溶液中接電源正極，電源負(fù)極接石墨或金屬板放入電解溶液中，通電進(jìn)行處理，進(jìn)而在...
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