技術(shù)編號(hào)：7107032
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及的是ー種微機(jī)電系統(tǒng)的方法，具體涉及ー種鎳熱敏薄膜電阻加工方法。背景技術(shù)MEMS加工制造的熱敏薄膜電阻可以廣泛用于制造溫度傳感器、流速傳感器、剪應(yīng)カ傳感器、氣體傳感器的敏感探頭。熱敏薄膜電阻制作在以SiO2膜或Si3N4膜為隔熱層上，相對于制作在以聚酰亞胺為隔熱層上，具有熱處理溫度高的特點(diǎn)，可以應(yīng)用于各種流場溫度、流速、剪應(yīng)カ等測量任務(wù)。尤其在氣體流場動(dòng)態(tài)測量時(shí)，必須考慮熱敏元件的反應(yīng)速率以及耐抗性等，而現(xiàn)階段熱敏傳感器具有反應(yīng)速度慢、耐抗性差等特...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。