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改進襯底上的膜的鈍化效果的方法技術資料下載

技術編號:7104041

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本發(fā)明涉及改進具有膜的襯底的鈍化效果,且更具體地,在硅襯底上的氧化硅薄膜。背景技術盡管受到其他低成本但低效率產品(例如薄膜太陽能電池)的挑戰(zhàn),晶體硅太陽能電池仍是光伏工業(yè)中最受歡迎的產品。尋求較薄晶片的趨勢要求應用先進的太陽能電池設計。二十世紀80年代開發(fā)的PERC(鈍化發(fā)射極和背面電池)結構是用于低成本高效率太陽能電池生產最受歡迎的方法之一,其已被Suntech放大成Pluto太陽能電池。對于PERC設計,表面鈍化是極其重要的問題。表面鈍化可描述為減小在...
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