技術(shù)編號：7103149
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及半導體領(lǐng)域，特別涉及一種。背景技術(shù)隨著微電子技術(shù)的迅速發(fā)展，集成電路的研究與應用已經(jīng)進入了片上系統(tǒng)(SOC)時代。單芯片的集成度和操作頻率越來越高，集成度已經(jīng)達到了每芯片有數(shù)量級上億的晶體管，并且還在不斷提高，這就導致了器件的特征尺寸不斷減小。研制和生產(chǎn)出作為集成電路基本元件的小尺寸、高速、低功耗晶體管是微電子技術(shù)發(fā)展的需要。傳統(tǒng)的MOS晶體管器 件的柵極、源極和漏極在同一水平面上(水平溝道)，此種結(jié)構(gòu)在制造時非常方便，但因源極和漏極之間的距離太...
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