技術編號：7102278
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及ー種終端為LDMOS的高壓VDMOS管，在保持VDMOS管的高耐壓特性的同吋，增大電流工作區(qū)，還使得芯片尺寸減小，從而降低襯底材料消耗，屬于半導體器件制造。背景技術高壓VDMOS管其芯片在橫向上分為有源區(qū)和終端，終端的作用是隔離有源區(qū)與芯片邊緣，以使有源區(qū)耐高壓，實現(xiàn)器件的高電壓工作。在現(xiàn)有高壓VDMOS的終端技術中，終端的類型有三種一是場限環(huán)結合浮空場板，其特點是在有源區(qū)I外側分布多個場限環(huán)，這些場限環(huán)的摻雜與主結相同，這些場限環(huán)上覆蓋著向芯片...
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