技術(shù)編號：7101311
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種圖形化的藍寶石襯底(PatternedSapphire Substrate, PSS)的制造方法。背景技術(shù)藍寶石由于其自身的優(yōu)勢，如化學(xué)穩(wěn)定性好、機械強度高、易于清洗和處理、生產(chǎn)技術(shù)相對成熟等，已成為氮化鎵(GaN)基發(fā)光二極管(LED)的主流襯底。然而，使用藍寶石作為GaN基LED的襯底也存在很多的缺陷，例如晶格失配和熱應(yīng)カ失配不但會在外延材料中產(chǎn)生大量缺陷，而且還會給后續(xù)器件的加工增加額外的困難；再例如藍寶石是ー種...
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