技術編號：7100529
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種高壓B⑶工藝中高壓器件的隔離結構及其制造方法，尤其涉及一種1200V量級的高壓B⑶工藝中高壓器件的隔離結構及其制造方法。背景技術B⑶工藝是一種單片集 成工藝技術，這種技術能夠在同一芯片上制作Bipolar、CMOS和DMOS器件，簡稱為B⑶工藝。由于B⑶工藝綜合了以上三種器件各自的優(yōu)點，這使BCD工藝成為集成電路的主流工藝技術。BCD工藝技術已經發(fā)展了多年，有許多成熟的工藝方案。BCD工藝可以對于不同的電路選擇不同的器件來達到相應電子電路器件...
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