技術(shù)編號(hào)：7100458
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明的示例性實(shí)施例涉及ー種阻變存儲(chǔ)器件及其制造方法，更具 體而言，涉及ー種能確保ON和OFF電流特性的肖特基ニ極管、具有所述肖特基ニ極管的阻變存儲(chǔ)器件及其制造方法。背景技術(shù)一般地，諸如相變存儲(chǔ)器件的阻變存儲(chǔ)器件使用開關(guān)器件來選擇性地將電壓或電流施加到阻變介質(zhì)。具有較小單位面積的垂直型ニ極管已經(jīng)用作開關(guān)器件。隨著半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件集成密度呈指數(shù)増加，開關(guān)器件的臨界尺寸(criticaldimension, CD)減小到曝光極限以下。然而，當(dāng)開關(guān)器件的CD和面積...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。