技術(shù)編號：7098953
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。體襯底上制造的被隔離的三柵極晶體管本發(fā)明是2008年6月30日提交的申請?zhí)枮?00880025190. 5、名稱為“體襯底上制造的被隔離的三柵極晶體管”的分案申請。背景技術(shù)在集成電路器件的制造中，隨著器件尺寸的持續(xù)減小，諸如三柵極晶體管的多柵極晶體管已經(jīng)變得更流行。在常規(guī)工藝中，三柵極晶體管通常被制造在體硅襯底上，或被制造在絕緣體上硅襯底上。在一些情況下，由于體硅襯底的成本低并且由于其使得三柵極制造工藝的復(fù)雜度更小，所以體硅襯底是優(yōu)選的。在其它情況下，由于...
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