技術編號：7095984
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于納電子器件領域，具體涉及一種柔性場效應晶體管以及該種器件的一種制造方法。背景技術常規(guī)場效應晶體管是基于硅襯底的，溝道采用摻雜的硅，柵介質采用二氧化硅或者高K材料，柵材料有多晶硅和金屬，柵的結構有頂柵、側柵、背柵和環(huán)柵等，柵壓通過金屬互連線由外部電源供給。石墨烯具有很多優(yōu)異的性能，它是迄今為止發(fā)現的最薄的材料，具有很高的機械強度和很好的延展性，它的抗斷強度達到42N nT1，是鋼的200倍，抗張強度可以達至Ij 130Gpa(Changgu Lee...
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