技術(shù)編號(hào)：7095970
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于無線通訊器件領(lǐng)域，具體涉及。背景技術(shù)隨著無線通訊市場(chǎng)的迅速發(fā)展，人們對(duì)便攜式設(shè)備的需求不斷的增加，極大的推動(dòng)了射頻集成電路的發(fā)展。同時(shí)，為滿足電路高性能和高集成度的要求，電感作為射頻電路中不可或缺的無源器件，通常需要在片上集成，而電感性能也成為影響射頻集成電路性能的重要因素。制備電感的金屬材料可以是鎢、鋁、銅等，但是目前比較常用和主流的片上集成電感材料是銅。致使金屬電感性能下降的原因主要有(I)金屬線圈在高電流密度時(shí)會(huì)發(fā)生的電遷移現(xiàn)象；(2)電感...
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