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基于超材料的太赫茲單譜信號探測器的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7088918

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本實用新型公開了一種基于超材料的太赫茲單譜信號探測器,包括自下而上依次設(shè)置的襯底層、N型砷化鎵層、二氧化硅層與超材料層、歐姆電極和肖特基電極;其中超材料層為具有周期性微納米結(jié)構(gòu)的金屬開環(huán)共振單元陣列,金屬開環(huán)共振單元陣列包含了一種圖形及其特征尺寸參數(shù),該圖形對于太赫茲電磁波具有完全吸收特性,通過改變金屬開環(huán)共振單元的結(jié)構(gòu)和尺寸參數(shù)可以調(diào)控對應(yīng)的電磁波吸收頻段,通過改變N型砷化鎵的耗盡層寬度可以調(diào)控超材料層中金屬開環(huán)共振單元陣列的電磁波吸收強度。本實用新型超...
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