技術(shù)編號：7088368
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種用于再熔焊料沉積物的裝置，所述焊料沉積物配置于晶圓的端子面上，其特征在于，所述裝置包括晶圓匣盒，其具有上下疊置地配置的晶圓接收件，用于在水平定向上接收晶圓；爐，其具有用于接收晶圓的爐室；水平輸送裝置，其用于從所述晶圓匣盒移除晶圓，在水平輸送平面中朝向所述爐輸送所述晶圓，并且將所述晶圓配置在所述爐室中；以及豎直輸送裝置，其用于將所述晶圓接收件配置于所述水平輸送裝置的所述輸送平面中。所述裝置允許基于待處理的晶圓在晶圓匣盒中的配置的批量操作也可以用于配置在晶...
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