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一種高靈敏度圖像傳感器像素結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7086731

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本實用新型公開了一種高靈敏度圖像傳感器像素結(jié)構(gòu),像素結(jié)構(gòu)包括硅基底,所述硅基底中設(shè)有多個感光器件,相鄰的感光器件之間設(shè)有淺槽隔離槽,所述多個感光器件的上方和下方分別設(shè)有正面平坦層和背面平坦層,所述正面平坦層的上面形成正面介質(zhì)淺槽,所述背面平坦層的下面依次形成背面窄槽和背面寬槽,所述背面窄槽中設(shè)有多個背面微透鏡,每個背面微透鏡對應(yīng)一個感光器件。能有效的提高入射光的吸收效率,改善圖像傳感器的靈敏度和圖像性能。專利說明一種高靈敏度圖像傳感器像素結(jié)構(gòu) [00...
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