技術(shù)編號：7083413
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型旨在提供一種外延生長襯底，包括襯底本體，其特征在于所述襯底本體的底部中心具有塊狀凹槽，可以有效地改善外延生長過程中襯底的曲翹問題，減少襯底底部與承載盤的接觸面積，減少溫度偏高的局部區(qū)域的面積，從而平衡襯底的溫場分布，改善外延層的表面質(zhì)量，減少外延缺陷。專利說明一種外延生長襯底 [0001]本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體，尤其涉及一種半導(dǎo)體外延生長的晶圓襯底。 背景技術(shù) [0002]LED是一種常用的固態(tài)半導(dǎo)體二極管發(fā)光器件，被廣泛用于指示燈、顯示...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。