技術(shù)編號(hào)：7076964
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型公開了一種硅片清洗機(jī)，包括下料臺(tái)(1)，設(shè)置于下料臺(tái)(1)的工作臺(tái)面下的傳送鏈條(3)，傳送鏈條(3)用于傳送硅片籃(4)，下料臺(tái)(1)對(duì)應(yīng)硅片籃(4)工作位置處設(shè)置有至少兩個(gè)檢測(cè)開關(guān)(2)，兩檢測(cè)開關(guān)(2)沿傳送鏈條(3)的傳動(dòng)方向并行設(shè)置；硅片清洗機(jī)還包括根據(jù)各檢測(cè)開關(guān)(2)中任一者檢測(cè)到硅片籃(4)的信號(hào)，發(fā)出停止機(jī)械手放下一硅片籃(4)動(dòng)作的控制器；當(dāng)各檢測(cè)開關(guān)均將各檢測(cè)信號(hào)發(fā)送給控制器，控制器對(duì)各信號(hào)進(jìn)行分析、判斷，當(dāng)判斷各檢測(cè)信號(hào)中的...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。