技術(shù)編號(hào)：7073284
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型提供一種半導(dǎo)體晶圓定向系統(tǒng)，包括虛擬參考定向系統(tǒng)，設(shè)置于一晶圓背面；方向定位器，設(shè)置于一定位器平臺(tái)中心，用于旋轉(zhuǎn)晶圓；動(dòng)態(tài)角度傳感器，用于實(shí)時(shí)感應(yīng)晶圓背面的虛擬參考定向系統(tǒng)，并將感應(yīng)結(jié)果傳輸給一計(jì)算機(jī)判斷系統(tǒng)；計(jì)算機(jī)判斷系統(tǒng)，與動(dòng)態(tài)角度傳感器連接，且與方向定位器通信。通過(guò)設(shè)置虛擬參考定向系統(tǒng)標(biāo)識(shí)晶圓的摻雜類(lèi)型和晶向，提高晶圓的利用率；采用四個(gè)動(dòng)態(tài)角度傳感器同時(shí)對(duì)晶圓背部的虛擬參考定向系統(tǒng)進(jìn)行感應(yīng)，通過(guò)方向定位器和計(jì)算機(jī)判斷系統(tǒng)達(dá)到對(duì)晶圓旋轉(zhuǎn)角度的...
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