技術編號:7072183
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型提供一種用于芯片剝層制樣的夾具,所述用于芯片剝層制樣的夾具至少包括位于內(nèi)側(cè)的圓柱體以及套設于所述圓柱體外側(cè)的套環(huán);所述圓柱體內(nèi)部開有2個從所述圓柱體的頂面通至底面的通孔,所述圓柱體的底部開有2條經(jīng)過所述通孔的導流槽,所述導流槽從圓柱體的內(nèi)部延伸至邊緣,所述圓柱體的底部中央開有凹槽。本實用新型的用于芯片剝層制樣的夾具牢牢固定待剝層芯片,研磨液通過上大下小的通孔被加注到待剝層芯片和研磨墊之間,通過圓柱體自身的重量來維持恒定均衡的壓力,本實用新型的用于...
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