技術編號：7069808
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型公開了一種晶圓干燥裝置，包括用于承載晶圓的旋轉卡盤，所述卡盤上設有扇形區(qū)域，所述扇形區(qū)域內(nèi)分布多個扇形溝槽，所述扇形溝槽內(nèi)設有若干可向晶圓背面噴射干燥氣體的噴射孔，每個扇形溝槽內(nèi)的噴射孔獨立連接供干燥氣體通過的管道，所述管道上設有可控制干燥氣體通過的閥，所述噴射孔的孔徑從扇形區(qū)域圓心到圓弧的方向逐漸變大，且所述噴射孔向卡盤邊緣的方向傾斜。本實用新型提供的一種晶圓干燥裝置，使集中在晶圓邊緣的粘稠藥液隨著卡盤的高速旋轉脫離晶圓，進一步的對晶圓邊緣噴射...
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