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一種頻率和帶寬可調(diào)的射頻濾波器的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7068012

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本實(shí)用新型公開了一種頻率和帶寬可調(diào)的射頻濾波器,諧振單元由諧振傳輸線構(gòu)成,饋電傳輸線的結(jié)構(gòu)與諧振傳輸線的結(jié)構(gòu)相同,諧振傳輸線包括由上往下依次分布的金屬柵層、二氧化硅層和原始高摻雜層;在金屬柵層上加偏置電壓后,原始高摻雜層內(nèi)形成由上往下分布的溝道反型層、PN結(jié)層和后高摻雜層,二氧化硅層和PN結(jié)層作為絕緣層,金屬柵層和后高摻雜層作為地,中間的溝道反型層作為傳輸導(dǎo)線,其通過改變溝道的尺寸,也就是改變傳輸線的特征阻抗用于實(shí)現(xiàn)濾波器的調(diào)諧,因?yàn)槭欠植紖?shù),所以中心頻...
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