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一種提升器和干法刻蝕系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7067725

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本實(shí)用新型公開了一種提升器,除了包括本體和底座,還包括支撐桿、支撐頭、定位環(huán)、彈性件和接觸環(huán);本體安裝在底座上;支撐桿穿過(guò)本體,支撐桿上端設(shè)置支撐頭,支撐頭的下端與本體的頂部之間有活動(dòng)空間,支撐桿穿過(guò)設(shè)置于底座上的定位環(huán),且支撐桿的底部設(shè)置有接觸環(huán),定位環(huán)與接觸環(huán)之間設(shè)置有彈性件。上述提升器由于在本體中間設(shè)置有支撐桿,由于定位環(huán)和接觸環(huán)之間設(shè)置有彈性件,支撐桿以及支撐桿上端的支撐頭未被壓縮時(shí),支撐頭與本體之間具有一定活動(dòng)空間;當(dāng)支撐頭受到基板的重力而下降時(shí)...
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