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一種氮化物復(fù)合勢(shì)壘量子阱紅外探測(cè)器及其制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7064549

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本發(fā)明公開(kāi)了。本發(fā)明的量子阱紅外探測(cè)器的多量子阱為包含多個(gè)周期的復(fù)合勢(shì)壘和勢(shì)阱,其中,復(fù)合勢(shì)壘為包括平帶勢(shì)壘和尖峰勢(shì)壘的雙層結(jié)構(gòu);通過(guò)極化調(diào)制的方法形成平帶勢(shì)壘,平帶勢(shì)壘以上的能級(jí)相互耦合形成準(zhǔn)連續(xù)態(tài),進(jìn)而形成光電流的通路;通過(guò)增加平帶勢(shì)壘的厚度,可以在光電流信號(hào)強(qiáng)度基本不變的情況下,抑制暗電流的背景噪聲,進(jìn)而提高信噪比。本發(fā)明利用低溫精細(xì)外延設(shè)備控制有源區(qū)界面以及各層厚度,可以獲得高質(zhì)量的外延晶片;多量子阱采用III族氮化物材料,可以實(shí)現(xiàn)全紅外光譜窗口的...
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