技術編號：7064328
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明提供一種用于柔性顯示背電極的柔性TFT及其制備工藝，在柔性基板上制作由柵極、源極和漏極組成且填充金屬的若干單元并制作與源極和漏極相接觸的碳納米管；接著制作完全覆蓋碳納米管而不完全覆蓋源極、漏極和柵極的絕緣層圖形，再制備柵極跳線及其上帶通孔的絕緣層薄膜；用導電墨水制作填充通孔且與漏極相接觸并固化的導電薄膜；沿單元切割導電薄膜形成若干像素電極單元。本發(fā)明可以替代復雜昂貴耗時的傳統(tǒng)柔性基板制備工藝，提高生產效率，降低生產成本；碳納米管層通過噴印制備，不要求...
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