技術(shù)編號:7063887
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供了一種具有過渡層的晶硅及鍺化硅薄膜復(fù)合型單結(jié)PIN太陽能電池及其制備方法。所述太陽能電池在n型硅晶片的前表面或者在n型硅晶片的背表面或者在n型硅晶片的前表面和背表面同時設(shè)有過渡層;所述過渡層為一層或者多層,其中任意一層均為富硅氧化硅層。所述制備方法在硅片完成制絨、拋光和清洗后,加入了前氫化干燥處理,同時,在完成此過渡層的工藝后,加入了后氫化處理方式,兩種方法用于改善界面質(zhì)量和結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性。采用這種過渡層并采用了前氫化干燥處理和后氫化處理過的具有過...
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