技術(shù)編號：7062274
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種用于柔性薄膜電子器件的水氧阻隔膜及采用該水氧阻隔膜作為電子器件封裝的工藝，水氧阻隔膜由多層用于阻隔水、氧分子的阻隔層和多層用于結(jié)構(gòu)去耦并吸收水、氧分子的吸收層交錯層疊構(gòu)成復(fù)合薄膜，阻隔層和吸收層均為無機(jī)薄膜；復(fù)合薄膜包括與器件接觸的最下層、與大氣接觸的最上層以及設(shè)置于最下層與最上層之間的中間層，最下層和最上層均為阻隔層，且構(gòu)成復(fù)合薄膜的任意相鄰的兩層分別為一阻隔層和一吸收層。阻隔層為SiO2薄膜或者Si3N4薄膜或者SiON薄膜或者Al2O3薄膜中的至...
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