技術(shù)編號：7061420
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種用清洗液清洗基板的基板清洗裝置及基板清洗方法，此外還涉及一種顯示裝置的制造裝置及顯示裝置的制造方法。背景技術(shù)基板清洗裝置在液晶顯示裝置及半導體裝置等的制造エ序中，向玻璃基板及半導 體晶片等基板的表面供給清洗液，對其基板表面進行清洗。在該基板清洗裝置中，例如存在一邊輸送作為清洗對象的基板一邊向該基板表面供給清洗液的基板清洗裝置。在使用清洗液的基板清洗中，例如在利用提離法進行基板清洗的情況下，進行使用臭氧水(O3水)的有機物除去及氧化膜形成,其后...
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