技術(shù)編號:7061411
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域,更具體地,涉及。背景技術(shù)半導(dǎo)體器件用在各種電子應(yīng)用中,例如,個(gè)人計(jì)算機(jī)、移動(dòng)電話、數(shù)碼相機(jī)、以及其他電子設(shè)備作為實(shí)例。通常,通過在半導(dǎo)體襯底的上方順序沉積材料的絕緣層或介電層、導(dǎo)電層、以及半導(dǎo)體層,使用光刻法將各種材料層圖案化從而在其上形成電路元件和元件來制造半導(dǎo)體器件。在一些半導(dǎo)體器件中,將電源線和地線布線至位于集成電路中的邏輯門和其他 器件。來自電源的電流流經(jīng)電源線、邏輯門、并且最后接地。在邏輯門的切換期間,在較短的時(shí)間周期內(nèi)產(chǎn)生...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。