技術(shù)編號：7059770
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明公開了，包括如下步驟(1)在硅片表面設(shè)置含硼摻雜劑；然后將表面已含有含硼摻雜劑的硅片送入加熱爐管，在氮氣氣氛下進行熱處理；(2)通入氧氣或氧氣與氮氣的混合氣體，在步驟(1)的溫度下進行恒溫氧化；(3)降溫至800~890℃，在步驟(2)的氣氛下再次進行氧化處理；(4)停止通入氧氣，降溫，出舟。本發(fā)明的整個方法只需進行熱處理、高溫氧化和第二次氧化（低溫氧化）即可，且可以在加熱爐管中一次性完成，避免了現(xiàn)有技術(shù)中需要進行2次加熱爐管的啟閉以及清洗去除硼硅玻...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。