技術(shù)編號：7058893
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明的課題在于提供一種基板處理方法和基板處理裝置，其能夠有效地除去受到會在摩擦處理中產(chǎn)生的氟離子的影響而產(chǎn)生的污染成分。一種基板處理方法，其對液晶顯示面板中使用的摩擦處理完成后的基板進行處理，該基板處理方法為下述構(gòu)成其包括利用氮氣溶解水對上述基板進行清洗的第1工序(11)，該氮氣溶解水是使至少包含氮氣的氣體溶解于水中而成的，上述氮氣溶解水的溫度被調(diào)整為40℃以上且80℃以下的范圍內(nèi)。專利說明基板處理方法和基板處理裝置 [0001]本發(fā)明涉及對液晶顯...
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