技術(shù)編號：7057099
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體，特別涉及一種夾持平面盤狀物的裝置。 背景技術(shù)在晶片生產(chǎn)的過程中，需要對晶片進(jìn)行清洗，但由于在晶片清洗的過程中需要使晶片進(jìn)行高速旋轉(zhuǎn)，因而需要通過夾持元件來帶動晶片旋轉(zhuǎn)，夾持元件在本內(nèi)應(yīng)用最多的是銷夾盤、伯努利吸盤等，在公開號為CN101587851A的專利中公開了一種利用離心力將晶片卡緊，利用磁鐵的排斥力來打開晶片的裝置，但由于無法對夾持元件與晶片接觸的地方進(jìn)行有效地清洗，在干燥后常形成晶片表面邊緣和夾持元件接觸地方的污染，即 “水印”，...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。