技術(shù)編號(hào)：7057084
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體，主要是一種制備(iaSb基分布反饋(DFB)激光器中光柵的系統(tǒng)及方法。背景技術(shù)隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，中紅外2-5 μ m波段的半導(dǎo)體激光器得到了越來越多的關(guān)注。2-5 μ m波段包含非常重要的大氣窗口，包含了許多氣體分子的特征譜線，可以廣泛應(yīng)用于大氣污染監(jiān)測、氣體檢測等民用項(xiàng)目；而工作在該波段的大功率激光器可期望在激光雷達(dá)、光電對(duì)抗等軍用項(xiàng)目中發(fā)揮更好的應(yīng)用效果。傳統(tǒng)的Si基、GaAs基材料系帶隙比較寬，不能滿足對(duì)波長的要求。而feiSb材...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。