技術(shù)編號:7056346
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。通過印刷來自緊密間隔的平行長形管道的陣列的液體掩模材料使得mc-Si晶片的部分通過限定于印刷掩模特征之間的開口暴露而產(chǎn)生具有圖案化光俘獲結(jié)構(gòu)(例如,金字塔或溝槽特征)的多晶硅(mc-Si)太陽能電池。使用管道的陣列(例如,微彈簧或直聚酰亞胺懸臂)獲得緊密間隔的掩模圖案特征,其中每個管道包括狹縫型、管型或脊/谷型液體引導通道,所述液體引導通道在管道的固定基端和尖端之間延伸使得從儲存器供應(yīng)的掩模材料從尖端精確地排出到mc-Si晶片上。然后蝕刻暴露平面表面部分以...
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