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集成紅外屏蔽結(jié)構(gòu)的太赫茲波室溫探測(cè)單元及制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7052987

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本發(fā)明公開了一種集成紅外屏蔽結(jié)構(gòu)的太赫茲波室溫探測(cè)單元及其制備方法,用于太赫茲波段的高性能探測(cè)。所述探測(cè)器的頂層是金屬網(wǎng)格結(jié)構(gòu)圖形,作為過(guò)濾和屏蔽紅外波段的結(jié)構(gòu);第二層為復(fù)合薄膜微橋橋面,其橋面頂部為亞波長(zhǎng)結(jié)構(gòu)金屬圖形,作為電磁諧振器,用于吸收特定頻率的太赫茲波;底層為一個(gè)厚的金屬層平面,其主要作用為增加電磁波磁場(chǎng)部分諧振吸收,減少透射。本發(fā)明不但具有高的吸收效率,同時(shí)對(duì)紅外波段噪聲能進(jìn)行有效削弱和抑制,提升探測(cè)單元的信噪比,而且具有易集成、陣列化、尺寸小...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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