技術編號:7052228
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明公開了一種陣列基板、其制備方法、液晶顯示屏及顯示裝置,該陣列基板包括襯底基板以及位于襯底基板上的薄膜晶體管和像素電極;其中,薄膜晶體管中的有源層與像素電極同層設置。由于在該陣列基板中,有源層采用透明氧化物半導體材料,對氧化物半導體材料進行等離子體處理可以提高氧化物半導體材料中載流子的濃度,因此可以采用制備有源層的氧化物半導體材料來制備像素電極,從而將像素電極與有源層同層設置,這樣在制備陣列基板時,就不需要增加新的制備像素電極的構(gòu)圖工藝,僅需變更對應的...
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