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一種超結肖特基半導體裝置及其制備方法技術資料下載

技術編號:7051559

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本發(fā)明涉及到一種超結肖特基半導體裝置,本發(fā)明還涉及一種超結肖特基半導體裝置的制備方法。本發(fā)明的半導體裝置是制造功率整流器件的基本結構。背景技術功率半導體器件被大量使用在電源管理和電源應用上,特別涉及到肖特基結的半導體器件已成為器件發(fā)展的重要趨勢,肖特基器件具有正向開啟電壓低開啟關斷速度快等優(yōu)點,同時肖特基器件也具有反向漏電流大,不能被應用于高壓環(huán)境等缺點。肖特基二極管可以通過多種不同的布局技術制造,最常用的為平面布局。BJBaliga的第5612567號專...
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