技術(shù)編號:7051303
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種用于ASIC構(gòu)件中的穿通接觸部的實現(xiàn)方案,所述ASIC構(gòu)件能夠簡單地集成在ASIC襯底的CMOS工藝中。所述ASIC構(gòu)件(120)具有有效的前側(cè),在所述有效的前側(cè)中實現(xiàn)電路功能(20)。所述至少一個穿通接觸部(15)應(yīng)建立所述有效的前側(cè)與所述構(gòu)件背側(cè)之間的電連接。根據(jù)本發(fā)明,在前側(cè)通過至少一個完全填充的前側(cè)溝槽(151)限定所述穿通接觸部(15),而在背側(cè)通過至少一個沒有完全填充的背側(cè)溝槽(154)限定所述穿通接觸部。所述背側(cè)溝槽(154)通...
注意:該技術(shù)已申請專利,請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。