技術(shù)編號：7048123
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及包含氧化物半導(dǎo)體的半導(dǎo)體器件及其制造方法。在本說明書中，半導(dǎo)體器件是指能通過利用半導(dǎo)體特性起作用的所有器件。在本說明書中描述的晶體管是半導(dǎo)體器件，而且包含該晶體管的電光器件、半導(dǎo)體電路以及電子器件均為半導(dǎo)體器件。背景技術(shù)用于以液晶顯示器件和發(fā)光顯示器件為代表的大多數(shù)平板顯示器的晶體管利用在玻璃襯底上設(shè)置的硅半導(dǎo)體諸如非晶硅、單晶硅以及多晶硅而形成。另外，利用這樣的硅半導(dǎo)體形成的晶體管用于集成電路(IC)等。將呈現(xiàn)半導(dǎo)體特性的金屬氧化物代替上述硅半...
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