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一種銅銦鎵硒薄膜太陽(yáng)能電池?zé)o鎘緩沖層的制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7048053

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本發(fā)明公開(kāi)了。本發(fā)明將硫化鋅粉末在15MPa下保持10s壓實(shí)成薄圓柱形片,直徑1.3cm,厚度2mm,然后在氮?dú)獗Wo(hù)下800oC或1000oC度燒結(jié),待溫度降為室溫取出,放入電子束蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)所帶的銅坩堝內(nèi),以充滿銅坩堝的三分之二為宜,在普通玻璃襯底上進(jìn)行電子束蒸發(fā)鍍膜,制備ZnS薄膜,通過(guò)改變適當(dāng)?shù)碾娮邮?、束流掃描范圍、蒸發(fā)高壓、蒸發(fā)壓強(qiáng)、蒸發(fā)時(shí)間、基板溫度以及后退火處理溫度等條件制備了具有纖鋅礦結(jié)構(gòu)的多晶ZnS緩沖層薄膜,該薄膜具有寬的光學(xué)帶隙、可見(jiàn)...
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