技術(shù)編號(hào)：7046853
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供了一種，包括進(jìn)行PNP型雙極型晶體管的版圖設(shè)計(jì)，其發(fā)射極為P型重?fù)诫s鍺硅，并且自摻雜硼；進(jìn)行所述PNP型雙極型晶體管的制作；測(cè)量所述PNP型雙極型晶體管的電流，并計(jì)算電流放大系數(shù)；根據(jù)所述電流放大系數(shù)判斷自摻雜硼鍺硅工藝中硼的實(shí)際用量，在線檢測(cè)硼的實(shí)際用量是否出現(xiàn)異常，從而快速判斷工藝是否正常，及時(shí)發(fā)現(xiàn)自摻雜硼鍺硅工藝中出現(xiàn)的異常。專利說明[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體集成電路及其制造領(lǐng)域，特別涉及一種。背景技術(shù)[0002]隨著超大規(guī)模集成電路技術(shù)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。