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一種Mg摻雜P型GaN外延生長方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7043842

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本發(fā)明提供,其二極管外延片結(jié)構(gòu)從下向上的順序依次為襯底、中溫GaN緩沖層、N型GaN層、淺量子阱、復(fù)合量子阱層、P型GaN層、P型AlGaN層、P型GaN層、P型接觸層、P型變量摻雜層,在InGaN/GaN多量子阱發(fā)光層與P型AlGaN之間生長具有In摻雜的低溫P型氮化鎵層,接下生長的P型AlGaN層可將In完全析出,大大提高空穴濃度,同時在P型AlGaN層后低溫生長P型氮化鎵層,低溫P型氮化鎵層可抑制P型摻雜劑的擴散作用;本發(fā)明有效改善接觸層后所帶來的外...
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