技術(shù)編號：7043526
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供了一種其中在設(shè)置有不平整形狀的藍寶石襯底上生長有平坦半導(dǎo)體層的第III族氮化物半導(dǎo)體發(fā)光器件及其制造方法。當(dāng)藍寶石襯底的主表面上的平坦表面面積S與藍寶石襯底的總面積K的面積比R為0.1以上至小于0.5時，在其主表面上具有不平整形狀的藍寶石襯底上形成半導(dǎo)體層時，供應(yīng)包含第III族元素的原料氣體和包含第V族元素的原料氣體的至少兩種氣體使得滿足公式1000≤Y/(2×R)≤1200。在公式中，Y為包含第V族元素的原料氣體與包含第III族元素的原料氣體的...
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